半导体工业用什么空气过滤器？

粘在集成电路上的灰尘可能会导致断路和短路，灰尘直接影响产品的成品率。如今，半导体工业（芯片厂）对生产环境的空气清洁度非常挑剔，对空气过滤器的要求也最高。芯片集成度的指标之一是线宽，即线路上的线宽。在微米计算线宽的时代，人们说制造环境对灰尘粒径的限制小于线宽的1/10。随着线宽的不断缩小，1/10的意思变成了1/4和1/2。2002年，普通微机P4处理器的线宽缩小到0.13毫米。此时，任何灰尘都可能损坏电路，传统的粒径和线宽比较已经过时。
 

传统的芯片厂通风形式是大循环，整个车间的天花板都布满了高效率的过滤器，整个地面都是回风栅板。目前，一些芯片厂使用自带风扇的过滤装置，即FFU。大循环和FFU可以达到足够的清洁度，但运行管理和能耗不同。无论是普通高效过滤器还是FFU，出厂前都要逐一扫描测试。目前国内没有扫描测试方法标准，能挤进芯片厂的过滤器厂家按照欧美标准扫描测试过滤器。芯片厂的人认为，传统检测方法中使用的测试灰尘本身就是污染源，所以芯片厂不买钠焰法和DOP法的账。空气中的盐粒是所有电子工业的敌人，但空气中的盐粒比较大，普通过滤器可以过滤掉。有人说搞电子工业的理想场所应该远离海岸，可以沿海地区经济发达。芯片厂建在过滤器上花了很多钱。
 

20世纪90年代初，国外就高效过滤器玻璃纤维滤纸的含硼问题争吵了一段时间。后来，过滤器的微量挥发元素成为芯片厂关注的焦点。近年来，聚四氟乙烯纤维高效过滤材料出现在国外。这种材料没有挥发性物质，但它是带静电的驻极体，减少了隐患，增加了麻烦。过滤后的空气应通过电中和去除空气中的离子。目前，这种材料的价格很高，大多数过滤器仍然使用玻璃纤维滤纸。过滤器上可能的微量挥发元素主要来自粘合剂和清洗剂，为芯片厂供应的过滤器制造商应该在这上下功夫。
 

今天的过滤技术可以把洁净室的粉尘浓度降到几乎为零，你可以做到更干净。当芯片上的线宽小于0.5毫米时，人们发现空气中的化学污染物已经成为影响成品率的主要危害。因此，化学过滤器一般配置在线宽度小于0.5毫米的芯片厂空调系统中。化学过滤器的原理和制造工艺并不复杂，即活性炭过滤器，但传统的活性炭过滤器制造商和军事工厂没有搭上芯片厂的班车，芯片厂的化学过滤器大多由空调过滤器制造商提供。
 

化学物质的来源可能是：室外空气，工艺本身，人，装修材料。大多数情况下，设计师和现场工作人员也无法区分污染物的种类和浓度，因此，提供给他们的化学过滤器至少应该具备两个特点：广谱吸附性，充足的活性炭材料。所谓广谱吸附，就是对任何东西都能吸附多少，具有这一功能的是最普通、最便宜的颗粒活性炭。若能确定污染物的种类，则可对活性炭材料进行有针对性的化学处理，以提高其吸附能力。
 

过滤器供应商有时需要提供相应的现场检测服务，帮助用户确定化学过滤器的使用情况，这就要求供应商中有从事化学过滤的专家，与知名化学实验室密切相关。可惜国内过滤器厂家很少在那里下功夫，所以国内芯片厂目前使用的大部分化学过滤器都是进口产品。半导体行业不是人们普遍认为的无烟行业，也有环境问题。那里经常使用最新的工艺和材料，有些化学品在其安全性评估前已经大量使用，一不小心就会造成严重的化学污染。既有地下水污染，也有空气污染，硅谷就为此付出了惊人的代价。
 

为了保险，一些企业也在排气系统中使用化学过滤器。中国正处于新一轮芯片厂建设的热潮中。因此，未来几年，中国需要数亿元的高效过滤器和化学过滤器。如果国内过滤器商家像以前一样只热衷于抄袭、猜疑、在各地忙碌，不在技术上进取，不互相交流，芯片厂这个难得的市场将属于外国人。